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產品概述
光學膜厚儀應用領域
廣泛應用于半導體與微電子制造、顯示面板、光學器件制造、生物醫(yī)學、汽車及新材料與新能源研發(fā)等領域，能滿足從晶圓鍍膜、顯示面板薄膜到光學元件鍍膜、醫(yī)用植入物涂層、汽車玻璃膜層及新能源薄膜的高精度厚度檢測需求，助力各行業(yè)提升產品質量與研發(fā)效率。
光學膜厚儀技術參數(shù)
| 型號 | HD-FT50UV | HD-FT50NIR |
| 建議工作距離 | 非聚焦光束，安裝距離5至10mm | 安裝側面出光附加鏡時：34.5mm±2mm； 軸向出光時：55mm±2mm； |
| 測量角度 | ±10° | ±5° |
| 光斑類型 | 彌散光斑；在10mm安裝距離時，光斑直徑約為4mm； | 聚焦光斑；約200μm |
| 探頭外徑*長度 | Φ6.35*3200mm3 | Φ20*73mm |
| 探頭重量 | 190g | 108g（探頭）、49g（附加鏡） |
| 光源類型 | 氘鹵光源 | 鹵素光源 |
| 波長范圍 | 190-1100nm | 400-1100nm；1000-1700nm |
| 測厚范圍 | 約20nm~50μm（折射率1.5時） | 約50nm~50μm（折射率1.5時） |
| 適配探頭 | UV-VIS | VIS-NIR軸向； VIS-NIR徑向；（標配其一） |
| 可連探頭數(shù)量 | 1 | |
| 探頭防護等級 | IP40 | |
| 重復精度 | 0.05nm | |
| 準確度 | <±1nm或±0.3%（取較大值） | |
| 采樣頻率 | Max.100Hz（視求解參數(shù)復雜度而定） | |
| 測控軟件 | 專用上位機軟件 | |
| 電源電壓 | 220V±20V50HzAC/ | |
| 最大功率 | 50W | |
| 工作溫度 | -10至+40℃ | |
| 相對濕度 | 20%至85%RH（無冷凝） | |
| 控制器重量 | 約5000g | |
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